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上海无尘室等级分类及应用标准

  无尘室施工不同于普通生产车间,无尘室洁净等级100-30万级,不同等级的施工标准也不一样。无尘室的适用范围很广,只要洁净要求比较高的都会用到。今天小编就来为大家讲述一下无尘室等级分类及应用标准。

  

  一、无尘室的等级

  

  无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸是0.5um,无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。

  

  二、无尘室标准分类

  

  1.乱流式

  

  空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘室等级为1,000-100,000级的。

  

  优点:构造简单、系统建造成本低,无尘室扩充比较容易,在某些特殊用途场所可并用无尘工作台,提高无尘车间等级。

  

  缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染产品。另外若系统停止运转再激活,欲达要求的洁净度,需耗时相当长一段时间。

  

  2.层流式

  

  层流式空气气流运动成均匀的直线形,空气由覆盖率的过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需求较高的环境使用,一般其无尘室等级为Class 1~100。

  

  3.复合式

  

  复合式是将乱流式及层流式予以复合并用,可提供局部超洁净空气。

  

  ●无尘车间洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,超大规模集成电路生产大都采用此种型式。

  

  洁净隧道另有二项优点:弹性扩充容易、维修设备时可在维修区轻易执行。

  

  ●无尘车间洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量的送风即可得到良好的洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线适宜使用。药品、食品及半导体均适用。

  

  ●无尘车间并装局部无尘室:将乱流无尘室内的产品生产区的洁净度等级提高为10~1000级以上,为生产用。

  

  三、无尘室的应用标准

  

  想检验无尘室是否达到应用标准,大家可以先从遮蔽率;风速、温湿度;压差、构成要求这四个方面考虑:

  

  1.风速、温湿度

  

  气流速度为:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)一般温度控制范围:T=(21±2)℃一般湿度控制范围:(45±5)%RH

  

  2.压差

  

  在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa,而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时,维持5Pa的小压力差是可以接受的。

  

  3.构成要求

  

  A.不会因温度变化与振动而发生裂痕

  

  B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子

  

  C.吸湿性小

  

  D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高。


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