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返回输入来自外部的洁净室的空气被过滤以排除灰尘和内部空气通过不断再循环微粒空气（HEPA）和/或超低微粒空气（ULPA）过滤器以除去内部产生的污染物。
员工进入和离开，通过气闸（有时包括风淋阶段），并穿上防护服，如帽子，口罩，手套，靴子和工作服。
一些洁净室被保持在正压，这样，如果有任何泄漏，空气泄漏出腔室，而不是未经过滤的空气在到来。
一些净室HVAC系统控制湿度到低的水平，使得额外的设备（“电离”）是必要的，以防止静电放电（ESD）的问题。
1、全循环式系统即无新风供给，也无排风的系统。
2、这种系统无新风负荷，很节能，但室内空气品质差，压差不好控制。
3、一般适用于无人操作、值守的洁净室。
部分循环式净化空调系统
1、这是用得多的系统形式，也就是有部分回风参与循环的系统。
2、在该系统中，新风和回风混合经处理送到无尘洁净室内，回风的一部分用于系统循环，另一部分被排走。
3、该系统压差易于控制，室内品质较好，能耗介于直流式系统与全循环式系统之间。
4、适用于允许采用回风的生产工艺。
