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返回无尘净化车间进风系统要安装，新风过滤箱，净化空调（净化空调要分为初效/中效/高效三个过滤段）末端有送风口。有必要时还装有净化增压箱。
无尘净化车间回风系统要安装，回风口，过滤初效器，中效回风箱。
进入无尘净化车间之前先进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜，空气清新机。人和货物进入无尘净化车间须经过，风淋室，货淋室，传递窗主要传递小物品。
在无尘净化车间内，局部需要达到10-1000级地方需安装垂直层流工作台，层流罩，洁净棚（可移式净化工作棚），自净器。测洁净室洁净度用激光尘埃粒子计数器 。
洁净厂房要设计观察窗方便参观。
