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返回洁净工程控制静电产生,可以通过控制工艺过程和工艺过程中相互接触的材料,以尽量减小静电产生量。控制静电积累主要是设法加速静电的释放和造成静电得以被中和的条件。
洁净工程防静电措施应该包括以下三条主要原则：
(1)连接工作间内所有导体(包括人员)
(2)使工作间内的非导体保持静电平衡;
(3)将静电安全工作区之间所有对静电敏感的物件装人静电防护罩内：
以上三条很重要,必须按次序操作。其中,接地是Z重要的一项。如果孤立的导体带了电,将它接地就可使静电释放。通过这种方法,设备、材料和许多适合洁净工程的诸如印制电路基板、人造织物、塑料运送盘、聚四氟乙烯(tefon)等一些非导电材料,不能用接地的方法将静电消除。那么就需要其他方法以中和电荷。对存在于绝缘体和与大地隔离的导体上的静电,实际上，洁净工程中还经常用空气离子发生器来对付它。空气离子发生器可以产生正、负空气离子团,去中和洁净工程内的静电。
在洁净工程内使用的空气离子发生器,必须符合与其他设备相容的一般方针,而且空气离子发生器的运用应不产生洁净室污染。空气离子是空气中失去或得到电子的气体分子。在洁净室中Z一般的获得空气离子的方法是利用电晕电离器。在空气离子发生器里,将很高的电压加到发射上,形成冠状电场,从而会很容易将空气分子的电子移走,也就是使空气发生电离。
当电离的空气与带电的绝缘体表面接触时,带电表面就会吸引极性相反的空气离子,从而消除静电。因为洁净工程中造成静电带电的电荷,既有正电荷,也有负电荷。所以,中和这些静电,就既需要正空气离子,也需要负空气离子。
洁净工程的洁净过程经常涉及到高压气体吹喷,以达到移除微粒和风干的目的。如果用空气离子发生器电离这一高压气体,使之中和带电表面上的静电荷,从而可以达到两个目的:其一,使消除因带电表面吸附微粒造成的污染变得容易;其二是对于没有带电的产品表面,减小了它在洁净过程后再吸附微粒造成污染的可能。
