导体生产净化车间的应用

　　近几年来,由于半导体芯片在电脑,通信等领域的广泛应用,半导体制造业也在全球得到了飞速发展。在半导体制造业中,由于其昂贵设备的敏感性和制造过程的复杂性,工厂的布局变得不可以轻易更改,初始的不良布局结果会导致庞大的物料搬运成本、无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本。因此,净化车间的设施规划已经成为半导体制造商们关心的问题,在建厂初期他们就不得不对工厂进行谨慎详细的规划。这样,工厂投产以后整体生产系统才能发挥大的生产效能。

　　半导体器件的生产对生产环境要求很严，个别区域的洁净度要求甚至达到十级的标准。半导体器件涉及数百个制造工序，生产技术非常具有特殊性，其特殊性导致它对生产环境，如温度、湿度，洁净度都有严格要求，这些环境参数关系到晶圆生产的合格率和使用寿命。半导体器件，尤其是高敏感度高密度的集成电路，是易损体质，非常容易受到污染。半导体器件尤其是小尺寸晶片，体积非常小，其微小的表面沉积层非常受尘埃的困扰。

　　空气中一直充满着尘埃，只是小到肉眼不可见，但它们原本就存在。稍微了解半导体行业知识的人都知道，在半导体制程中，空间单位开始已经以微米计算，这些尘埃对于每个晶体管的体积就属于较大颗粒，考虑一下，如果这些肉眼不可见的微粒黏附在半导体的线路上，可能会影响其精密的导线布局，轻者导致半导体器件的导电性不良，严重的造成短路或断路，甚至导致整批产品报废。因此要保证半导体生产的良品率，必须要有一个的半导体净化车间。

　　各种文献对设施规划定义的表述不尽相同,但在制造业中都是把设施规划定义为对一个生产系统进行全面的、系统的规划和安排,这种规划和安排是有目的的,这就是要确定经济合理的投入,使设施得到化的配置,以支持整个系统实现有效的运行,获得期望的产出。从净化工程的角度考察,设施规划的范围被界定为厂址选择和设施设计两个组成部分。在制造业中,设施设计又包含了净化车间设备布局设计和物料搬运系统设计两个互相关联的内容。设备布局设计是对机器、设备、运输通道、场地,按照物流、人流、信息流的合理需要,做出有机组合和合理安排,物料搬运系统设计则是对物料搬运的路线、运量、搬运方法和设备、储存场地等做出合理安排。